製品紹介/真空システム

事業内容

薄膜型成装置の設計・製作PE-CVD
PVD
蒸着装置
真空加熱炉
真空コンポーネントの製造販売
(カタログ販売)
回転導入機
直線導入機
トランスファーロッド
高真空バブル
ビューポート
ビューポートシャッター
CF規格フランジ/継手
ISO-KF規格フランジ/継手
JIS規格フランジ/継手
各規格フレキシブルホース
真空機器の設計・製作角型ゲートバルブ
丸型ゲートバルブ
大経口バルブ
グローブボックス
CVD用ヒーター
Evaporation-device

コンポーネント

各種コンポーネント

回転導入機ベローズ式・マグネット式
直線導入機ベローズ式 ストローク:30-100mm
搬送用ロッドマグネット式 ストローク:~1000mm
各種L型バルブKF・CF ベローズ式
ビューポート70CF-203CF シャッター付対応可能
KF・CF接続部分KF・CFニップル・エルボ・クロス・フレキ
その他図面作成での部品・機構の製作

各種装置(蒸着装置・スパッタ装置・真空環境下装置)

TC-900WP24
蒸着装置半導体電子ビーム蒸着装置(写真参照)
有機EL用蒸着装置
スパッタ装置DC/RF スパッタ装置
真空環境下装置グローブボックス
封止装置
張り合せ装置
TMP・CRYO 排気装置