ようこそ真空システム事業部へ

事業内容

薄膜形成装置の設計・製作

PE-CVD  PVD  蒸着装置  真空加熱炉

真空ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄの製造販売（ｶﾀﾛｸﾞ販売）

回転導入機  直線導入機  ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ

高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ  ﾋﾞｭｰﾎﾟｰﾄ  ﾋﾞｭｰﾎﾟｰﾄｼｬｯﾀｰ

CF規格ﾌﾗﾝｼﾞ/継手  ISO-KF規格ﾌﾗﾝｼﾞ/継手

JIS規格ﾌﾗﾝｼﾞ/継手  各規格ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾎｰｽ

真空機器の設計・製作

角型ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ  丸型ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ  大口径ﾊﾞﾙﾌﾞ

ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ  CVD用ﾋｰﾀｰ